Оптический полировальный порошок FO для полировки 12-дюймовых пластин
Полировальный порошок FO для оптической обработки — это высокоточный композитный абразив, специально оптимизированный для сверхтонкой полировки 12-дюймовых полупроводниковых пластин. Благодаря модифицированной композитной формуле на основе оксида алюминия и диоксида циркония, он отличается равномерным распределением частиц, умеренной и стабильной твердостью, а также превосходной суспензией, идеально соответствующей строгим требованиям химико-механической полировки (CMP) для крупногабаритных пластин.
Этот продукт профессионально применяется для высокоточной полировки 12-дюймовых кремниевых пластин, пластин из арсенида галлия, фосфида индия и других полупроводниковых материалов. Он эффективно удаляет микродефекты поверхности, следы резки и неровные слои, не вызывая микроцарапин, ямок или остаточных напряжений на поверхности. Он обеспечивает сверхгладкую выравнивание поверхности и значительно улучшает плоскостность, параллельность и общий выход годной продукции для пластин большого диаметра.
Благодаря стабильной однородности партии и контролируемой скорости удаления материала, он подходит для автоматизированного массового производства 12-дюймовых пластин. Он может идеально заменить импортный высококачественный полировальный порошок, поддерживая индивидуальные характеристики частиц. Идеально подходит для производства полупроводников, обработки подложек оптоэлектронных чипов и других высокоточных задач, являясь экономичным и надежным основным полировальным материалом для крупносерийного производства пластин.
Физические свойства и химический состав полировального порошка %-FO для полировки 12-дюймовых пластин
| Элемент | Размер | Удельная плотность c (г/см³) | Химические вещества (%) | ||||
| Al2O3 | SiO2 | Fe2O3 | TiO2 | ZrO2 | |||
| ФО | #800-#1200 | ≥3,90 | ≥45,0 | ≤20.0 | ≤0,5 | ≤2.0 | ≤33,0 |
| #1500-#3000 | ≥3,90 | ≥40,5 | ≤20.0 | ≤0,7 | ≤2.0 | ≤33,0 | |
Распределение размеров частиц (PSD) оптического полировального порошка FO для полировки 12-дюймовых пластин.
| Размер | Д0 | Д3 | Д50 | Д94 |
| #800 | ≤32,0 | ≤27.0 | 11,3±0,9 | ≥6,5 |
| #1000 | ≤27.0 | ≤23.0 | 9,4±0,8 | ≥5,0 |
| #1200 | ≤23.0 | ≤20.0 | 7,1±0,7 | ≥4,0 |
| #1500 | ≤19.0 | ≤17.0 | 5,5±0,5 | ≥3,0 |
| #2000 | ≤15.0 | ≤14.0 | 4,5±0,4 | ≥2,0 |
| #3000 | ≤12.0 | ≤11.0 | 3,6±0,4 | ≥1,5 |
Основные области применения оптического микропорошка FO
–Шлифовка и полировка полупроводниковых пластин
– Обработка поверхности различных оптических стекол
–Шлифовка и полировка линз, призм, зеркал, фильтров и т. д. из оптических кристаллов.
– Обработка поверхности пьезоэлектрических материалов
Упаковка оптического микропорошка FO
ПВХ-мешки по 10 кг + поддон
